Gomma perfluoroeterea (FFKM)è un eccellente materiale sigillante. Grazie alle sue prestazioni superiori, ha trovato un utilizzo diffuso in tutto il sistema di produzione dei semiconduttori. Uno dei materiali di consumo primari richiesti per la produzione di circuiti integrati sono gli anelli di tenuta in perfluoroetere.
I monomeri principali nella gomma perfluoroeterea sono il tetrafluoroetilene e il perfluoroalchil vinil etere, che vengono copolimerizzati con una piccola quantità di terzi monomeri con punti di vulcanizzazione. È una gomma che non contiene alcun legame CH. Il contenuto di fluoro della sua struttura molecolare, la struttura e il contenuto di etere vinilico perfluorurato, l'energia di legame e la quantità di legami reticolanti nel processo di vulcanizzazione influenzano tutti le prestazioni del composto vulcanizzato e la temperatura di transizione vetrosa. La struttura e i componenti sono diversi, così come le loro prestazioni. Di seguito sono riportate le principali caratteristiche prestazionali della gomma perfluoroeterea:
1) Proprietà fisiche: la densità è 1,9-2.0g/cm3, le proprietà fisiche e meccaniche sono simili alla gomma fluorurata e il compression set ad alta temperatura è superiore alla gomma fluorurata.
2) Resistenza chimica: È chimicamente resistente.
3) Resistenza alle alte e basse temperature: la temperatura operativa è tipicamente di 260290 gradi, ma può essere utilizzata in modo intermittente a 316 gradi. La Tg (temperatura di transizione vetrosa) di alcune gomme perfluoroeteree è di -19 gradi.
4) Resistenza al vapore ad alta temperatura.
5) Basse precipitazioni e rilasci.
6) Resistenza al plasma.
Presenta caratteristiche di elevata pulizia e bassa precipitazione del prodotto nell'ambiente del plasma e può resistere a lungo all'impatto del plasma.L'affidabilità delle guarnizioni in elastomero è fondamentale nella produzione di semiconduttori e il costo dell'interruzione della produzione per sostituire le guarnizioni è estremamente elevato. I requisiti di pulizia e purezza delle guarnizioni sono estremamente severi per evitare potenziali rischi. Allo stesso tempo, le guarnizioni devono essere in grado di funzionare per un lungo periodo di tempo sotto la pressione di un vuoto spinto, di gas chimici corrosivi e di un ambiente ad alta temperatura.
Le materie prime in gomma perfluoroeterea sono costose e sono comunemente utilizzate nella produzione di semiconduttori. È resistente alla corrosione da plasma, corrosione da gas, corrosione da acidi e alcali, corrosione ad alta temperatura, elevati requisiti di pulizia per le guarnizioni in gomma, aiuta a mantenere l'integrità della guarnizione, riduce i tempi di manutenzione e migliora la sicurezza ed è la migliore guarnizione per la produzione di semiconduttori Materiale.