Il sistema di vuoto a semiconduttore è una delle apparecchiature chiave utilizzate per produrre dispositivi a semiconduttore. Si tratta di un sistema chiuso in un ambiente altamente pulito e a bassa pressione per la movimentazione e la lavorazione di materiali e dispositivi semiconduttori.
Nei sistemi per vuoto a semiconduttore, vengono spesso utilizzate guarnizioni in gomma ad alte prestazioni a causa dei requisiti di elevata pulizia e bassi tassi di perdita. Ecco alcuni tipi comuni di guarnizioni in gomma:
Guarnizioni in Viton (FPM): il Viton è un fluoroelastomero resistente agli agenti chimici e alle alte temperature, ampiamente utilizzato nei sistemi per vuoto. Ha un'eccellente resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione e bassa permeabilità ai gas, che lo rendono adatto a requisiti di tenuta che resistono ad ambienti ad alto vuoto e ad alta temperatura.
Guarnizioni in nitrile (NBR): il nitrile è una gomma sintetica per uso generale con buona resistenza all'olio e all'abrasione. Nei sistemi per vuoto a semiconduttore, le guarnizioni in nitrile vengono utilizzate principalmente in alcune applicazioni non corrosive e a temperature non elevate, come collegamenti a basso vuoto e gasdotti.
Guarnizione in silicone (VMQ): il silicone è una gomma siliconica resistente alle alte temperature con buona elasticità e resistenza al calore. Viene spesso utilizzato nei sistemi di vuoto a semiconduttore per resistere ai requisiti di tenuta in ambienti ad alta temperatura, come il trattamento termico, la ricottura e la pulizia a vapore ad alta temperatura.
Guarnizione EPDM: EPDM è una gomma etilene propilene con buona resistenza all'ossidazione, resistenza agli acidi e agli alcali. Nei sistemi per vuoto a semiconduttore, le guarnizioni in EPDM sono spesso utilizzate in applicazioni non corrosive e a temperature non elevate, come condotte a basso vuoto e per la trasmissione di gas.
Queste guarnizioni in gomma hanno caratteristiche e campi di applicazione diversi. Quando si seleziona una tenuta adatta, è necessario considerare fattori quali le condizioni di lavoro del sistema, l'intervallo di temperatura, le proprietà del fluido e i requisiti di pressione. Inoltre, al fine di garantire prestazioni di tenuta, anche il processo di produzione e installazione delle guarnizioni deve seguire rigorosi requisiti di processo.
Nei sistemi per vuoto a semiconduttore, oltre alle guarnizioni in gomma, vengono spesso utilizzate guarnizioni in gomma per ottenere una tenuta efficace. Ecco alcuni tipi comuni di guarnizioni in gomma:
Guarnizione O-ring: L'O-ring è una guarnizione in gomma a sezione circolare ed è ampiamente utilizzata nei sistemi a vuoto a semiconduttore. Ha buone prestazioni di tenuta e capacità di deformazione a compressione e può adattarsi a diversi requisiti di tenuta, come collegamenti di tubi, valvole, giunti, ecc.
Guarnizione piatta: una guarnizione piatta è una guarnizione piatta in gomma comunemente utilizzata per le connessioni flangiate nei sistemi a vuoto a semiconduttore. Raggiunge la tenuta attraverso il contatto con la superficie della flangia ed è solitamente realizzato in materiale di gomma resistente agli agenti chimici alle alte temperature come Viton o Silicone.
Guarnizione a U: la guarnizione a U è una guarnizione in gomma con sezione trasversale a forma di U adatta a specifiche esigenze di tenuta nei sistemi sottovuoto a semiconduttore. Viene spesso utilizzato per sigillare stantuffi, aste di pistoni, cilindri e altri componenti e ha buone prestazioni di tenuta e resistenza alla deformazione da compressione.
Guarnizione a forma di V: la guarnizione a forma di V è una guarnizione in gomma a sezione trasversale a forma di V comunemente utilizzata per valvole e tenute rotanti dell'albero nei sistemi di vuoto a semiconduttore. Raggiunge una tenuta efficace attraverso il contatto con la superficie di tenuta e ha una buona tenuta e resistenza all'usura.
La selezione di queste guarnizioni in gomma è determinata in base ai requisiti di tenuta specifici, alle condizioni di lavoro e alle proprietà dei fluidi. Allo stesso tempo, anche la scelta del materiale della guarnizione è molto importante. I materiali comunemente utilizzati includono Viton, Nitrile, Silicone, ecc. La selezione specifica dovrebbe considerare fattori quali l'intervallo di temperatura, la resistenza alla corrosione chimica e il tasso di perdita di gas. Quando si installa la guarnizione, è necessario prestare attenzione a mantenere pulita la superficie di tenuta e ad assicurarsi che la guarnizione sia installata e pressata correttamente per ottenere un buon effetto di tenuta.
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